2024/06/17
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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タイトル。 |
プラズマプロセス技術(プラズマ プロセス ギジュツ)。
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副書名。 |
ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー(ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメノ アトム テクノロジー)。
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著者名等。 |
プラズマ・核融合学会∥編(プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ)。
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出版者。 |
森北出版/東京。
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出版年。 |
2017.1。
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ページと大きさ。 |
273p/22cm。
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件名。 |
ナノマテリアル。
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プラズマ。
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分類。 |
NDC8 版:501.4。
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NDC9 版:501.4。
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ISBN。 |
978-4-627-77561-9。
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4-627-77561-X。
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価格。 |
5600円。
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タイトルコード。 |
1110232658。
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内容紹介。 |
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について、基礎から応用まで解説。ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に、最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料。 |
予約数。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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番号。 |
資料番号。 |
所蔵館。 |
配架場所(配架案内)。 |
請求記号。 |
状態。 |
1。 |
- 資料番号:
- 1016479998。
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- 所蔵館:
- 福井県立図書館。
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- 配架場所:
- 自然24自然24(自然24の書架にあります。おわかりにならない時は、職員にお尋ねください。)。
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- 請求記号:
- 501.4/フラス。
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- 状態:
- 在架。
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このページのURL:http://www.library-archives.pref.fukui.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1110232658