2024/05/03
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
|
| タイトル｡ |
図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み(ズカイ ニュウモン ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ)｡
外部サイトで調べる:  
|
| 副書名｡ |
製造装置の全体を俯瞰する(セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカンスル)｡
|
| あなたの知らない日本の実力がわかる(アナタ ノ シラナイ ニホン ノ ジツリョク ガ ワカル)｡
|
| 著者名等｡ |
佐藤淳一∥著(サトウ,ジュンイチ)｡
|
| 版次｡ |
第2版｡
|
| 出版者｡ |
秀和システム／東京｡
|
| 出版年｡ |
2016.8｡
|
| ページと大きさ｡ |
259p／21cm｡
|
| シリーズ名｡ |
How-nual visual guide book｡
|
| 件名｡ |
半導体｡
|
| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
|
| NDC9 版：549.8｡
|
| ISBN｡ |
978-4-7980-4726-3｡
|
| 4-7980-4726-0｡
|
| 価格｡ |
2000円｡
|
| タイトルコード｡ |
1110201352｡
|
| 内容紹介｡ |
半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。初版をよりわかりやすくするとともに、半導体製造装置を取り巻く最近の動向などを追加した第2版。｡
|
| 著者紹介｡ |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年東京電気化学工業(株)入社。82年ソニー(株)入社。一貫して半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師等を経験。著書「CVDハンドブック」等。｡
|
| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料｡ |
予約数｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
|
- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
|
- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
|
- 貸出中の資料
- 0 冊
|
- 予約数
- 0 件
|
| 番号｡ |
資料番号｡ |
所蔵館｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 1016367110｡
|
- 所蔵館：
- 福井県立図書館｡
|
- 配架場所：
- カウンターカウンター（書庫内資料です。調査相談カウンターにてお尋ねください。）｡
|
- 請求記号：
- 549.8/ｻﾄｳ｡
|
- 状態：
- 在架｡
|
このページのURL：http://www.library-archives.pref.fukui.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1110201352