2024/05/12
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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タイトル。 |
図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み(ズカイ ニュウモン ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ)。
外部サイトで調べる:
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副書名。 |
リソグラフィ技術の核心に迫る(リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル)。
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微細化の鍵(ビサイカ ノ カギ)。
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著者名等。 |
佐藤淳一∥著(サトウ,ジュンイチ)。
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出版者。 |
秀和システム/東京。
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出版年。 |
2011.10。
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ページと大きさ。 |
271p/21cm。
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シリーズ名。 |
How-nual visual guide book。
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件名。 |
集積回路。
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半導体。
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分類。 |
NDC8 版:549.7。
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NDC9 版:549.7。
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ISBN。 |
978-4-7980-3063-0。
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4-7980-3063-5。
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価格。 |
2000円。
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タイトルコード。 |
1105035081。
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内容紹介。 |
半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。。
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著者紹介。 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年東京電気化学工業(株)入社。82年ソニー(株)入社。半導体先端テクノロジーズ創立時に出向等。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料。 |
予約数。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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番号。 |
資料番号。 |
所蔵館。 |
配架場所(配架案内)。 |
請求記号。 |
状態。 |
1。 |
- 資料番号:
- 1015823006。
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- 所蔵館:
- 福井県立図書館。
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- 配架場所:
- 自然39自然39(自然39の書架にあります。おわかりにならない時は、職員にお尋ねください。)。
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- 請求記号:
- 549.7/サトウ。
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- 状態:
- 在架。
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このページのURL:http://www.library-archives.pref.fukui.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1105035081