2026/01/11
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| タイトル｡ |
図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み(ズカイ ニュウモン ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ)｡
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| 副書名｡ |
製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄(セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカンスル ギジュツリョク ノ シンズイ)｡
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| 著者名等｡ |
佐藤淳一∥著(サトウ,ジュンイチ)｡
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| 出版者｡ |
秀和システム／東京｡
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| 出版年｡ |
2010.5｡
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| ページと大きさ｡ |
231p／21cm｡
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| シリーズ名｡ |
How-nual visual guide book｡
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| 件名｡ |
半導体｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| ISBN｡ |
978-4-7980-2610-7｡
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| 4-7980-2610-7｡
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| 価格｡ |
1800円｡
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| タイトルコード｡ |
1104928403｡
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| 内容紹介｡ |
半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。現場で使われている用語も交え、現場に近い視点で解説。「図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」姉妹編。｡
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| 著者紹介｡ |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年東京電気化学工業(株)入社。82年ソニー(株)入社。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師等経験。現在ナノフロント研究所代表。応用物理学会員。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料｡ |
予約数｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
所蔵館｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 2012349375｡
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- 所蔵館：
- 福井県立図書館｡
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- 配架場所：
- 集密書庫5類集密書庫5類｡
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- 請求記号：
- 549.8/ｻﾄｳ｡
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- 状態：
- 在架｡
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このページのURL：http://www.library-archives.pref.fukui.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1104928403