2025/05/11
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| タイトル｡ |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み(ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ)｡
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| 副書名｡ |
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する(ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル)｡
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| 著者名等｡ |
佐藤淳一∥著(サトウ,ジュンイチ)｡
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| 版次｡ |
第3版｡
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| 出版者｡ |
秀和システム／東京｡
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| 出版年｡ |
2019.12｡
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| ページと大きさ｡ |
261p／21cm｡
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| シリーズ名｡ |
図解入門：How‐nual｡
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| Visual Guide Book｡
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| 件名｡ |
半導体製造装置｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| ISBN｡ |
978-4-7980-6037-8｡
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| 4-7980-6037-2｡
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| 9784798060378｡
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| 4798060372｡
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| 価格｡ |
2000｡
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| タイトルコード｡ |
1000056822｡
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| 内容紹介｡ |
半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者にもわかるよう解説した半導体製造装置の入門書。製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩がよくわかる。第3版。｡
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| 著者紹介｡ |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業株式会社(現、TDK)に入社。1982年、ソニー株式会社に入社。半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料｡ |
予約数｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
所蔵館｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 1016716043｡
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- 所蔵館：
- 福井県立図書館｡
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- 配架場所：
- 自然科学(緑)39自然科学(緑)39｡
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- 請求記号：
- 549.8/ｻﾄｳ｡
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- 状態：
- 在架｡
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このページのURL：http://www.library-archives.pref.fukui.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1000056822